Unità di vuoto CNC intelligente 30 l/s Portata di pompaggio 5×10⁻¹Pa Vuoto finale

Unità di vuoto CNC intelligente 30 l/s Portata di pompaggio 5×10⁻¹Pa Vuoto finale

Introduzione al prodotto

VET-001 utilizza la tecnologia di combinazione a doppia pompa e un sistema di controllo intelligente per ottenere prestazioni di vuoto efficienti e stabili:

▎Sistema di pompaggio del vuoto ad alta efficienza

Progettazione del collegamento a doppia pompa: la pompa Roots (portata 30 L/S) e la pompa rotativa a palette (portata 8 L/S) funzionano in serie, con un vuoto massimo di 5×10⁻¹Pa, che è il 40% più efficiente di un sistema a pompa singola e soddisfa gli scenari più esigenti con requisiti di vuoto di ≤10⁻¹Pa (come la saldatura a fascio di elettroni e il trattamento termico sotto vuoto).

Modalità di risparmio energetico: valuta in modo intelligente il carico di vuoto, solo la pompa rotativa a palette funziona nella fase di basso vuoto e la pompa Roots si avvia automaticamente nella fase di alto vuoto, riducendo il consumo energetico del 35% rispetto alle unità tradizionali.

▎Sistema CNC intelligente

Interazione uomo-computer: il touch screen Weilun/Omron da 7 pollici (interruttore in cinese e inglese) visualizza 12 parametri come vuoto, velocità di pompaggio, temperatura dell'olio, ecc. in tempo reale e supporta il tracciamento della curva dei dati storici (periodo di archiviazione ≥30 giorni).

Controllo automatico: dotato di un sensore di collegamento del pezzo in lavorazione, il sistema si avvia automaticamente entro 0,5 secondi dal rilevamento del carico e rilascia automaticamente la pressione e si arresta al termine del test; supporta preimpostazioni di programmi personalizzati (come l'aspirazione segmentata e le impostazioni del tempo di mantenimento della pressione).

▎Protezioni di sicurezza multiple

Protezione elettrica: rilevamento perdita fase (tempo di risposta < 0,1 secondi), protezione da sovraccarico del motore (spegnimento automatico a 1,2 volte la corrente nominale), avviso di surriscaldamento della temperatura dell'olio della pompa per vuoto (allarme > 70℃).

Protezione meccanica: la pompa Roots è dotata di una valvola antiritorno dell'olio integrata, che isola automaticamente il sistema in fase di spegnimento per impedire che i vapori dell'olio contaminino la camera a vuoto; il telaio in acciaio inossidabile completamente chiuso (livello di protezione IP54) è resistente alla polvere e agli schizzi.

▎Capacità di espansione flessibile

Interfaccia di comunicazione: l'interfaccia RS485/Modbus TCP è riservata al supporto dell'aggancio del sistema PLC e SCADA per ottenere un monitoraggio remoto (ad esempio, avviso di vuoto in tempo reale e diagnosi remota dei guasti).

Configurazione della tubazione: 2 tubazioni per vuoto DN16 standard (espandibili a 4), adatte all'interfaccia flangiata KF/QF e compatibili con il collegamento rapido di camere per vuoto con specifiche diverse.

Caratteristiche del prodotto

• Combinazione di pompa Roots + pompa rotativa a palette, portata di pompaggio 30L/S, vuoto limite 5×10⁻¹Pa, adatta per requisiti doppi di vuoto elevato e alta velocità di pompaggio
• Touch screen + PLC controllo completamente automatico, supporta 10 set di memorizzazione di programmi personalizzati, efficienza di impostazione dei parametri aumentata del 60%
• Tripla protezione elettrica per perdita di fase/sovraccarico/temperatura dell'olio, design meccanico anti-ritorno dell'olio, per garantire la sicurezza di funzionamento continuo 7×24 ore
• Compatibile con il protocollo Modbus, può essere collegato al sistema MES di fabbrica per ottenere la gestione del cluster e la tracciabilità dei dati delle apparecchiature per il vuoto
• Condotto del vuoto espandibile a 2 vie, supporta l'interfaccia flangiata DN16-DN50, compatibile con apparecchiature a semiconduttore, di laboratorio e altre apparecchiature multi-scenario

Standard di riferimento internazionale

• ISO 3668:2017 "Metodo per la misurazione delle prestazioni delle pompe per vuoto" (Clausola 5 portata di pompaggio; Clausola 6 pressione massima).
• GB/T 16530-2020 "Pompa per vuoto Roots" (Sezione 5.1 Limite di rumore; Sezione 5.2 Ampiezza di vibrazione).
• IEC 60204-1:2018 "Sicurezza elettrica dei macchinari - Apparecchiature elettriche" (Clausola 8 Circuito di controllo; Clausola 12 Protezione da sovraccarico).
• ATEX 2014/34/UE "Direttiva Antideflagrante" (Applicabile ai modelli personalizzati per ambienti infiammabili ed esplosivi)

Parametri tecnici

Oggetti di prova e articoli di ispezione

Oggetti di prova:

• apparecchiature per rivestimento sotto vuoto (ad esempio camere di sputtering magnetron), apparecchiature per la produzione di wafer semiconduttori (camere a vuoto per rivestimento fotoresistente), forni di essiccazione sotto vuoto/dispositivi di distillazione da laboratorio, macchine per confezionamento sotto vuoto, apparecchiature per congelamento sotto vuoto.

Articoli da ispezionare:

• Prestazioni del vuoto: portata di pompaggio (30 m³/h a pressione atmosferica standard), grado di vuoto finale (5×10⁻¹Pa), velocità di aumento della pressione (≤5 Pa/min).
• Compatibilità del sistema: efficienza di aspirazione sincrona multi-pipeline, tasso di perdita dell'interfaccia della flangia (rilevazione tramite spettrometria di massa dell'elio ≤1×10⁻⁹Pa・m³/s).
• Stabilità a lungo termine: fluttuazione del grado di vuoto (≤±5%) dopo 8 ore di funzionamento continuo, aumento della temperatura della pompa Roots (≤20℃).
• Risparmio energetico: consumo energetico a vuoto (≤1,5 kW), curva di consumo energetico sotto carico (rapporto grado di vuoto-potenza).
• Prestazioni di sicurezza: resistenza di isolamento elettrico (≥10 MΩ), continuità di messa a terra (≤0,1Ω), tempo di risposta all'arresto di emergenza (≤2 secondi).